使用(yong)反(fan)射(she)型光(guang)纖探(tan)頭(tou)在線監測(ce)鍍(du)膜生(sheng)產(chan)過(guo)程(cheng)

在鍍(du)膜過(guo)程(cheng)中(zhong)需(xu)要(yao)對壹(yi)些(xie)重要(yao)參(can)數(shu)進行(xing)監控(kong)，如膜層厚(hou)度、成分、表面光(guang)潔度、光(guang)透射(she)率(lv)、反(fan)射(she)系(xi)數(shu)、偏振(zhen)特性(xing)等，都可以利(li)用(yong)光(guang)譜學和雙光(guang)束幹涉的方法(fa)進行(xing)測(ce)量(liang)。光(guang)纖的(de)使用(yong)為(wei)監(jian)控過(guo)程(cheng)提(ti)供了(le)靈(ling)活(huo)的工(gong)具，可以使光(guang)方便(bian)地(di)進入或導出遠方的真(zhen)空(kong)超(chao)凈室，而且可(ke)以同(tong)時為膜層分(fen)析(xi)提供多(duo)個(ge)幾(ji)何(he)量的(de)測(ce)量(liang)選(xuan)擇(ze)。膜層的(de)照(zhao)明(ming)和發(fa)光(guang)的探(tan)測(ce)可(ke)以在相對於(yu)膜層的(de)不(bu)同光(guang)纖位(wei)置(zhi)進行(xing)，可以測(ce)量(liang)鏡(jing)面反(fan)射(she)、漫反(fan)射(she)、傳(chuan)輸(shu)、偏振(zhen)、幹涉、熒(ying)光(guang)和拉曼散射(she)等(deng)。可(ke)以利(li)用(yong)多(duo)根光(guang)纖同(tong)時監測(ce)多(duo)個(ge)參(can)數(shu)，或者(zhe)在不同的空(kong)間(jian)位置(zhi)或掩模條件(jian)下同時測(ce)量(liang)。

用(yong)幾(ji)個(ge)適宜(yi)結(jie)構(gou)的(de)光(guang)纖探(tan)頭(tou)，就(jiu)可以在線監測(ce)生(sheng)產(chan)的(de)全(quan)過(guo)程(cheng)。在壹些(xie)場(chang)合中(zhong)，可(ke)以通(tong)過(guo)監(jian)測(ce)離(li)子源(yuan)（如(ru)等(deng)離(li)子源(yuan)）的(de)光(guang)譜輻(fu)射(she)來(lai)確(que)定鍍(du)膜過(guo)程(cheng)中(zhong)的(de)條件(jian)效率。

     對於(yu)大(da)多(duo)數(shu)此類監(jian)測(ce)系(xi)統來說都需要(yao)專(zhuan)門的實(shi)驗(yan)布(bu)局(ju)，我們(men)可以為(wei)您(nin)提(ti)供(gong)適合您應用(yong)的(de)實(shi)驗布(bu)局(ju)，這裏(li)僅(jin)舉(ju)壹個(ge)應用(yong)系(xi)統的例(li)子。
      在這裏(li)使用(yong)壹(yi)個(ge)反(fan)射(she)型光(guang)纖探(tan)頭(tou)來(lai)在線監測(ce)鍍(du)膜生(sheng)產(chan)過(guo)程(cheng)。光(guang)纖通(tong)過(guo)過(guo)真(zhen)空(kong)裝置進入真(zhen)空(kong)室，然(ran)後傳(chuan)到(dao)反(fan)射(she)探(tan)頭(tou)上。反(fan)射(she)光(guang)經過(guo)另(ling)壹個(ge)過(guo)真(zhen)空(kong)裝置，進入光(guang)譜儀(yi)的(de)壹個(ge)測(ce)量(liang)通(tong)道。反(fan)射(she)型探頭(tou)可(ke)以用(yong)SMA接頭(tou)拆下。還可(ke)以再(zai)增(zeng)加壹個(ge)光(guang)譜儀(yi)通(tong)道，用(yong)來(lai)進行(xing)參考(kao)測(ce)量(liang)或(huo)補償(chang)光(guang)源(yuan)本身(shen)的波(bo)動(dong)對測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)的(de)影(ying)響。

• 上壹(yi)篇：顏(yan)色應用(yong)軟件(jian)用(yong)光(guang)譜儀(yi)系(xi)統進行(xing)顏(yan)色測(ce)量(liang)
• 下(xia)壹(yi)篇(pian)：薄膜測(ce)量(liang)系(xi)統用(yong)於(yu)測(ce)量(liang)薄(bo)膜反(fan)射(she)率(lv)及膜層厚(hou)度